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硅基MEMS加工技术与MEMS设计技术暑期短训班(7月16-21日,北大))
 
 
作者 佚名 摘自 未知 发表 2007-06-05 11:15:17 人气 5701 背景色 杏仁黄 秋叶褐 胭脂红 芥末绿 天蓝 雪青 灰 银河白(默认色) 字号   

硅基MEMS加工技术与MEMS设计技术暑期短训班


地点:北京大学 时间:2007716-21日(6天时间)






一、培训对象和目标



培训对象:从事MEMS及相关技术研究的大专院校与科研单位的学生、青年教师及工程技术人员。



培训目标:经过培训,使学员学习掌握硅基MEMS加工技术的基本理论,熟悉北京大学硅基MEMS加工标准工艺设计规则,了解国内外MEMS加工技术发展趋势;掌握 MEMS CAD软件基本操作,了解 MEMS器件、工艺和系统设计的基本方法与流程。



培训证书:课程结束后,颁发学会培训证书。






二、时间与费用



时间:2007716-21日共6天。授课30学时,上机练习与讨论18学时,共48学时。



费用:包含资料、上机费用和午餐,不包含交通和食宿费用。



l 会员价格:2000元;



l 学生会员价格:1200元;



l 社会学员价格:2500元;






三、课程安排



本期培训包含两部分内容,具体课程安排如下:



Day 1:



l MEMS技术概述



l 光刻技术



l 体硅微机械加工技术



l 表面微机械加工技术



l 键合技术及其他MEMS加工技术






Day 2:



l 北京大学硅基MEMS加工标准工艺



l 北京大学微米纳米技术加工技术国家级重点实验室版图设计规则



l 实验室参观






Day 3-4



MEMS工艺及器件设计流程:分为A/B两个班,培训时间均为2天。



A班:使用软件为Coventorware 2006,安排上机练习。



B班:使用软件为 IntelliSuite 8.2,安排上机练习。






Day 5



MEMS器件高级仿真技术:使用软件为ANSYS 11.0,安排上机练习。






Day 6



Coventorware 2006IntelliSuite 8.2ANSYS 11.0 自由上机练习,安排辅导。






四、主要教师



北京大学微电子学研究院:李志宏,张大成,张海霞,陈兢。



CoventorwareANSYS公司技术培训人员。






五、培训组织管理



培训由中国微米纳米技术学会主办,由北京大学微米纳米技术加工技术国家级重点实验室统一培训管理方式,印发培训课程资料,建立学员档案,颁发学会培训证书和相关软件的培训认证证书。






六、报名



本期培训即日起开始报名,截至期为630,学费请在报名时缴纳,具体帐户信息如下:



单 位:清华大学(013)



帐 号:0200004509089131550



开户行:北京工商银行海淀西区支行









联系人:



联系人:年莉


联系电话:010-62796707


Email: csmnt@mail.tsinghua.edu.cn









回执




















单位名称






参加人






联系方式






预计参加人数






备注





请于6月30日前将此回执发送Email 至csmnt@tsinghua.edu.cn,或者发送传真到010-62796707,将以此为确认标志。

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